Kostenstruktur von Plasmaverfahren. Die Anteile von Investitions-, Betriebs- und Verbrauchskosten an vakuumgestützten Beschichtungsverfahren

Oehr C, Brand J, Hegemann D, Liehr M & Wohlfart P
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Oehr, C., Brand, J., Hegemann, D., Liehr, M., & Wohlfart, P. (2017). Kostenstruktur von Plasmaverfahren. Die Anteile von Investitions-, Betriebs- und Verbrauchskosten an vakuumgestützten Beschichtungsverfahren. Vakuum in Forschung und Praxis, 29(1), 40-49. https://doi.org/10.1002/vipr.201700637